特許

J-GLOBAL ID：200903050855025747

スピンコータ

発明者： 新保 泰史
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-068354
公開番号（公開出願番号）：特開平8-257524
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：

【要約】【目的】 カップ内に付着した廃液を簡単にかつ十分に除去できるスピンコータを提供する。【構成】 スピンチャック6を高速回転させ、整流板9により気流などを整流してガラス基板G上の薬液を均一に広げて塗布膜厚を制御し、廃液を飛ばして、カップ1内に収容して廃液・排気口4から排出する。ガラス基板G上の薬液の塗布が終了すると、カップカバー開閉アーム8の上昇により、カップカバー7および整流板9が上昇し、カップ1が開口する。ガラス基板Gを一定枚数処理する毎に、開閉バルブ5を閉じ、廃液・排気口4を閉塞する。洗浄液供給ノズル10より洗浄液を供給し、カップ1内を洗浄液で満たす。一定時間経過後に、開閉バルブ5を開き、廃液・排気口4よりカップ1内の洗浄液を廃棄することで、カップ1の内壁、整流板9、および、カップカバー7の下面に付着した廃液を除去する。

請求項（抜粋）：

基板を吸着保持して高速回転させるチャックと、廃液を廃棄する廃棄口を有し、前記チャックを前記基板とともに収納するカップと、前記廃棄口を開閉する開閉手段と、前記カップに洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルとを具備し、前記開閉手段により前記廃棄口を閉塞し、前記洗浄液供給ノズルより前記カップに洗浄液を供給し、前記カップ内を洗浄液で満たしてこのカップ内に付着した廃液を除去することを特徴としたスピンコータ。

IPC (4件)：

B08B 9/08 ,  B08B 3/02 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 351

FI (4件)：

B08B 9/08 ,  B08B 3/02 B ,  H01L 21/304 341 Z ,  H01L 21/304 351 S