特許

J-GLOBAL ID：200903050856754041

研磨用プラスチック発泡シートおよびその製造方法

発明者： 政木 義則
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-006365
公開番号（公開出願番号）：特開2003-209078
出願日： 2002年01月15日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：

【要約】【課題】 研磨分野、その中でも特にCMPプロセスにおいて、目詰まりしにくく、かつ研磨性能ばらつきの小さい研磨パッドを提供することである。【解決手段】 同方向に配列した長気泡を有するプラスチック発泡シートであり、次のように作製した。原料プラスチックとして熱可塑性ポリウレタンエラストマー(大日精化製)を使用し、第一押出機中で、二酸化炭素と原料プラスチックを混合した。混合ゾーンの樹脂圧力は25MPa、樹脂温度は200°Cであり、二酸化炭素は超臨界状態にあった。シート断面を、MD方向に沿って電子顕微鏡で観察した結果、短軸平均長さは24μm、長軸平均長さは50μm、アスペクト比は2.1であった。

請求項（抜粋）：

同方向に配列した長気泡を有することを特徴とする研磨用プラスチック発泡シート。

IPC (5件)：

H01L 21/304 622 ,  B24B 37/00 ,  C08J 9/36 CER ,  C08J 9/36 CEZ ,  C08L101:00

FI (5件)：

H01L 21/304 622 F ,  B24B 37/00 C ,  C08J 9/36 CER ,  C08J 9/36 CEZ ,  C08L101:00

Fターム (23件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CA01 ,  3C058DA12 ,  4F074AA24 ,  4F074AA26 ,  4F074AA32 ,  4F074AA35 ,  4F074AA37 ,  4F074AA42 ,  4F074AA48 ,  4F074AA57 ,  4F074AA65 ,  4F074AA71 ,  4F074AA77 ,  4F074AA78 ,  4F074AA87 ,  4F074BA32 ,  4F074CA22 ,  4F074CC02Z ,  4F074CC22X ,  4F074CD20 ,  4F074DA56