特許

J-GLOBAL ID：200903050860342335

耐プラズマ性エラストマー部品

発明者： 岩本 香 ,  頼 文一 ,  十河 信一
出願人/特許権者： デュポン パフォーマンス エラストマーズ リミテッド ライアビリティー カンパニー
代理人 (2件)： 谷 義一 ,  阿部 和夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-548512
公開番号（公開出願番号）：特表2006-517982
出願日： 2003年10月24日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：

表面上に少なくとも10ガウスの磁束密度を有するエラストマー部品は、部品の表面に接触しないように反応性プラズマの一部分を偏向させる。したがって、そのような部品は、表面上にそのような磁束密度を有していない類似のエラストマー部品よりも分解を低減させてより長期間にわたり反応性プラズマに暴露することが可能である。

請求項（抜粋）：

反応性プラズマに暴露されるエラストマー部品であって、その表面において少なくとも10ガウスの磁束密度を有することを特徴とするエラストマー部品。

IPC (1件)：

C08K 3/00

FI (1件)：

C08K3/00

Fターム (9件)：

4J002AC071 ,  4J002BB151 ,  4J002BB231 ,  4J002BD121 ,  4J002CP031 ,  4J002DC006 ,  4J002DE116 ,  4J002FD206 ,  4J002GJ02

引用特許：

出願人引用 (8件)

• 米国特許第5,696,189号明細書
  
• 日本国特許第3303915号明細書
  
• 米国特許第6,281,296 B1号明細書
  
• 米国特許第6,114,452号明細書
  
• 米国特許第5,789,489号明細書
  
• 米国特許第4,214,060号明細書
  
• 米国特許第3,876,654号明細書
  
• 米国特許第6,089,543号明細書