特許

J-GLOBAL ID：200903050862768992

画像パターンの検査方法及びその装置

発明者： 角間 央章 ,  法貴 哲夫
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-078239
公開番号（公開出願番号）：特開平5-240801
出願日： 1992年02月27日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】 基準画像パターンと検査画像パターンを比較して検査するときに、両画像間の配線パターンのコーナー部に現れる欠陥とすべきでない差異による誤判断を防止する。【構成】 CADで作成された設計データより得られる基準画像パターンに、4連結拡大、8連結拡大、4連結縮小、及び8連結縮小の各単位操作を所定の順列に従って順次実行することにより変換を施し、変換後の基準画像パターンを検査画像パターンと比較して欠陥の検査を行う。【効果】 変換により基準画像パターンのコーナー部に丸みが付加されるために、検査対象画像が有する欠陥とすべきではないコーナー部の丸みによる検査における誤判断を防止し得る。

請求項（抜粋）：

検査対象画像パターンを基準画像パターンと比較して欠陥の検出を行う画像パターンの検査方法であって、(a)前記基準画像パターンに、4連結拡大、8連結拡大、4連結縮小、及び8連結縮小の各単位操作を所定の順列に従って順次実行する工程と、(b)前記検査対象画像パターンを前記工程(a)の結果得られる前記基準画像パターンと比較して欠陥の検出を行う工程と、を備えた画像パターンの検査方法。

IPC (4件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/66 355

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-251705
  
• 特開昭62-274476
  
• 特開平2-071377