特許
J-GLOBAL ID:200903050862959399
アクティブマトリクス型液晶表示パネルの製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
京本 直樹 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-334024
公開番号(公開出願番号):特開2001-154221
出願日: 1999年11月25日
公開日(公表日): 2001年06月08日
要約:
【要約】【課題】アクティブマトリクス型液晶表示パネルの製造工程を短縮し、生産性をを向上させる。【解決手段】TFT基板の製造工程を最上層に保護絶縁膜25を形成した段階で終了し、その後このTFT基板30をシール材33を介してカラーフィルタ基板32と相対向させ、カラーフィルタ基板32をマスクとしてTFT基板30の最上層の保護絶縁膜25をエッチングし走査線および信号線の端部に形成されている圧接端子15,23を露出させる。その後両基板の間に液晶を充填する。これにより従来保護絶縁膜のパターニングに必要としていたフォトレジスト成膜、パターン露光、現像工程を削減できる。
請求項(抜粋):
薄膜トランジスタ(TFT)基板とカラーフィルタ基板とをシール材を介して相対向させ、両基板の間に液晶を充填するアクティブマトリクス型液晶表示パネルの製造方法において、前記カラーフィルタ基板をマスクとしてTFT基板の最上層の保護絶縁膜をエッチングして走査線および信号線の圧接端子を露出させることを特徴とするとアクティブマトリクス型液晶表示パネルの製造方法。
IPC (7件):
G02F 1/1365
, G02F 1/1345
, G09F 9/00 338
, G09F 9/00 343
, G09F 9/30 338
, H01L 29/786
, H01L 21/336
FI (6件):
G02F 1/1345
, G09F 9/00 338
, G09F 9/00 343 Z
, G09F 9/30 338
, G02F 1/136 500
, H01L 29/78 612 D
Fターム (44件):
2H092GA32
, 2H092GA40
, 2H092JA24
, 2H092JB22
, 2H092JB31
, 2H092JB57
, 2H092MA14
, 2H092MA18
, 2H092MA41
, 2H092NA27
, 2H092NA29
, 2H092PA04
, 2H092PA08
, 5C094AA43
, 5C094AA44
, 5C094BA03
, 5C094BA43
, 5C094CA19
, 5C094CA24
, 5C094DA12
, 5C094DB02
, 5C094EA10
, 5C094EB02
, 5C094EC02
, 5C094ED03
, 5C094FA01
, 5C094FB12
, 5C094GB01
, 5C094GB10
, 5F110AA16
, 5F110BB01
, 5F110DD02
, 5F110FF02
, 5F110GG15
, 5F110HK04
, 5F110NN01
, 5F110NN24
, 5G435AA17
, 5G435BB12
, 5G435CC09
, 5G435EE41
, 5G435GG12
, 5G435KK02
, 5G435KK05
引用特許:
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