精密基板の収納容器および該収納容器を用いた収納方法

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：薬師稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-253983
公開番号（公開出願番号）：特開平10-081369
出願日： 1996年09月05日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：

【要約】【課題】構成部材の寸法精度や構成部材の経時的な劣化の影響を受けること無く、長期にわたって精密基板を安定的に保持できる収納容器を提供する。【解決手段】容器本体30内に複数の半導体ウェーハWをカセット10により整列保持して収納し、容器本体30の上部開口を蓋体50により閉止する収納容器であって、蓋体50の内面に溝53aが形成された押さえ部材53を袋体52により取り付けて蓋体50内面と押さえ部材53との間に袋体52によって空間Cを画成し、蓋体50に空間Cに開口する通孔55aを形成するとともに通孔55aを開閉可能な弁体56を取り付け、通孔55aから加圧気体を注入して容器本体30内の半導体ウェーハWの周縁に押さえ部材53の溝53aを当接させ、空間C内の気体のばね作用で半導体ウェーハWを押さえるように構成した。

請求項（抜粋）：

複数の精密基板を整列して収納する収納容器において、前記整列された複数の精密基板の縁部に係止可能な複数の係合溝が形成された押さえ部材を略袋状の可撓性部材により内壁面に取り付け、該内壁面と前記押さえ部材との間に前記可撓性部材により空間を気密的に画成するとともに、該空間に容器壁を貫通して連通する通路を設け、該通路に開閉弁を設けたことを特徴とする精密基板の収納容器。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平4-239472
空気袋
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-000131 出願人：大日本印刷株式会社

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