記録ヘッドの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松田和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-088697
公開番号（公開出願番号）：特開平7-290713
出願日： 1994年04月26日
公開日（公表日）： 1995年11月07日
要約：

【要約】【目的】剪断モード型記録ヘッドを低コストかつ短時間で生産可能な製造方法を提供する。【構成】圧電基板11に破線Aで分割されて別々の記録ヘッドのインク流路となる複数のインク流路12を形成し、インク流路12の側面に電極13を形成し、電極13と接続したボンディングパッド14をインク流路12の長手方向の両側にそれぞれ千鳥状に形成し、インク流路12から離れている方の各ボンディングパッド14をそれぞれ共通に接続する短絡検査用配線15a,15bを形成し、この短絡検査用配線15a,15bを用いて各電極間およびボンディングパッド間の短絡検査を行なう。

請求項（抜粋）：

圧電材料からなる隔壁によって隔てられた複数のインク流路と、各インク流路に対応して設けられたインク吐出口と、上記隔壁に形成された電極とを有し、上記電極に所望の駆動電圧を印加することにより上記隔壁を変形させて上記インク吐出口よりインクを吐出させる剪断モード型の記録ヘッドの製造方法において、圧電材料からなる圧電基板上に、後に分割されて別々の記録ヘッドのインク流路となる複数条の溝を形成する第1の工程と、この各溝の壁面に上記溝間の圧力隔壁を変形させるための電極と、この各電極とヘッド駆動回路をそれぞれ接続するための電気的配線と、この電気的配線のうちのいくつかを共通に接続する第1の短絡検査用配線と、この第1の短絡検査用配線と接続している電気的配線と接続している電極以外の電極と接続している電気的配線を共通に接続する第2の短絡検査用配線とを形成する第2の工程と、上記第1および第2の短絡検査用配線と上記各電気的配線とを分離する第3の工程と、を有することを特徴とする記録ヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

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