特許
J-GLOBAL ID：200903050876145254
面傾斜検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-148665
公開番号（公開出願番号）：特開平9-007915
出願日： 1995年06月15日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【目的】 検出光の光路上に空気の揺らぎがあっても被検面の傾きを高精度に検出する。【構成】 光源3からの光束をハーフプリズム4により第1光束LB1 及び第2光束LB2 の2つの光束に分割し、第1光束LB1 と第2光束LB2 とを同一光路上で且つ逆方向に進ませる。ウエハ2の表面2aから反射される第1光束LB1 及び第2光束LB2 を共にハーフプリズム4及び集光光学系8を介して光電センサ9の撮像面で集光させ、その撮像面におけるそれぞれの集光位置の間隔を測定し、その結果からウエハの表面2aの傾きを制御系10において算出する。
請求項（抜粋）：
第1光束及び第2光束を発生する光源系と、前記第1光束及び第2光束を被検面に交差して入射させ、同一光路を逆方向に進ませる光路制御光学系と、前記同一光路を逆方向に進んだ後の前記第1光束及び第2光束のそれぞれの又は相対的な位置ずれ量を検出する検出系と、該検出系の検出結果に基づいて前記被検面の傾きを算出する演算手段と、を備えたことを特徴とする面傾斜検出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G01B 11/26
, G03F 9/00
H01L 21/30 526 B
, G01B 11/26 Z
, G03F 9/00 H
