特許

J-GLOBAL ID：200903050881400149

半導体製造装置の管理装置

発明者： 松 本 康 則 ,  井 上 儀 一 ,  高 木 秀 樹
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  東芝マイクロエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-196176
公開番号（公開出願番号）：特開平7-050235
出願日： 1993年08月06日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：

【要約】【目的】 製品の品質を低下させることなく、歩留りおよび製造装置の稼働率の低下を防止することを可能にする。【構成】 半導体製造装置の作業基準データが格納される作業基準データファイル4と、半導体製造装置の作業結果が格納される作業実績データファイル6a,6bと、半導体製造装置から送られてくるメンテナンス作業結果情報又は現在の品質管理情報からなる作業情報を作業実績データファイルに書込むとともに、この作業情報と作業基準データとを比較し、この比較結果に基づいて半導体製造装置に警告を発生する監視手段2と、を備えていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

半導体製造装置の作業基準データが格納される作業基準データファイルと、前記半導体製造装置の作業結果が格納される作業実績データファイルと、前記半導体製造装置から送られてくるメンテナンス作業結果情報又は現在の品質管理情報からなる作業情報を前記作業実績データファイルに書込むとともに、この作業情報と前記作業基準データとを比較し、この比較結果に基づいて前記半導体製造装置に警告を発生する監視手段と、を備えていることを特徴とする半導体製造装置の管理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/02 ,  G05B 19/418 ,  B23Q 41/08 ,  G06F 17/60

FI (2件)：

G05B 15/02 S ,  G06F 15/21 R

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭61-193447