特許
J-GLOBAL ID：200903050890129016
薄膜コンデンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-224112
公開番号（公開出願番号）：特開平7-078727
出願日： 1993年09月09日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：
【要約】【構成】 高誘電率薄膜と、前記高誘電率薄膜を挟んで対向形成された1対の電極とを備え、前記1対の電極の少なくとも一方が4a族元素、5a族元素、6a族元素より選ばれた少なくとも1種の硼化物からなる。【効果】 大容量で良好な電気的特性を有するとともに、今後の高集積化にも充分に対応することができる。
請求項（抜粋）：
高誘電率薄膜と、前記高誘電率薄膜を挟んで対向形成された1対の電極とを備えた薄膜コンデンサであって、前記1対の電極の少なくとも一方が4a族元素、5a族元素、6a族元素より選ばれた少なくとも1種の硼化物からなることを特徴とする薄膜コンデンサ。
IPC (2件)：
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