特許

J-GLOBAL ID：200903050890224930

基板搬送装置および方法

発明者： 山本 悟史
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 小谷 悦司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-121402
公開番号（公開出願番号）：特開平11-312723
出願日： 1998年04月30日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】 基板を搬送する際に生じる気流の方向を制御して処理部にパーティルクが進入するのを効果的に防止することができる基板搬送装置および方法を提供する。【解決手段】 ハンド11を所定角度θ1だけ回転することで、ホットプレートHP1側からホットプレートHP1の反対側に登り勾配となるように基板1を傾斜させる。そして、基板1をこの傾斜状態に維持したまま、制御部からの指令に応じてZ駆動機構が作動して基板1を処理部(ホットプレートHP1,HP2、密着強化ユニットおよびクーリングプレート)に沿って降下させる。この際、当該基板1によって気流が乱されるが、基板1が傾斜姿勢をとっているため、当該気流30は処理部HP1,HP2から遠ざかり、処理部へのパーティクルの進入を効果的に防止する。

請求項（抜粋）：

上下方向に配列された複数の処理部に沿って基板を上下搬送する基板搬送装置において、基板を保持する基板保持手段と、前記基板保持手段を上下方向に移動させる上下移動機構と、前記基板保持手段を水平面に対して傾斜させる傾斜機構と、前記上下移動機構を制御することで前記基板保持手段に保持された基板を前記処理部に沿って上下搬送するとともに、当該上下搬送に際して、基板の上下搬送によって引き起こされる気流が前記処理部から遠ざかるように、前記傾斜機構により前記基板保持手段を傾斜させる制御手段と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。