特許

J-GLOBAL ID：200903050893485824

微量元素の分析方法

発明者： 田中 俊徳
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-140240
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005554
出願日： 1994年06月22日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】 半導体洗浄薬品等の有機溶媒中に含まれるリンを、有機溶媒のままで高感度分析することを可能にする。【構成】 有機溶媒中に含まれる微量のリンを、加熱気化導入ICP質量分析法により分析する際、修飾剤としてマグネシウムを添加することを特徴とする、微量元素の分析方法。

請求項（抜粋）：

有機溶媒中に含まれる微量のリンを、加熱気化導入ICP質量分析法により分析する際、修飾剤としてマグネシウムを添加することを特徴とする微量元素の分析方法。