光イオン化質量分析装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-166843
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014571
出願日： 1997年06月24日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】光イオン化質量分析装置の全検出効率の向上を図る。【解決手段】幾何学的焦点11を共有する楕円球面ミラー10,幾何学的焦点11の一つにパルスレーザビーム7が集光するように配置されたレーザ装置6、および、レンズ12,試料にパルスイオンビーム3を照射させるイオンガン2,質量分析装置9などにより構成されレーザビームのパルスを試料上の同一位置を繰り返し通過させることにより、パルスの重ね合わせによるレーザ強度の増大によりイオン化効率を増大させる。

請求項（抜粋）：

イオンビームを試料に照射することによって生成する中性粒子にレーザ装置からのレーザ光を照射してその中性粒子をイオン化し、生成するイオンを質量分析計に導き質量分析する光イオン化質量分析装置において、幾何学的焦点を共有する楕円球面ミラ-を少なくとも1枚以上、および、上記レーザ光を上記幾何学的焦点の一つに集光させるための光学素子を具備し、上記楕円球面の二つの上記幾何学的焦点の間にイオン化の領域を設けることを特徴とする光イオン化質量分析装置。

IPC (6件)：

G01N 23/225 , G01N 27/62 , G01N 27/64 , H01J 37/244 , H01J 37/252 , H01J 49/10

FI (6件)：

G01N 23/225 , G01N 27/62 B , G01N 27/64 B , H01J 37/244 , H01J 37/252 B , H01J 49/10

前のページに戻る