特許
J-GLOBAL ID:200903050897891401

金属蒸気発生装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 光石 俊郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-270289
公開番号(公開出願番号):特開平7-126839
出願日: 1993年10月28日
公開日(公表日): 1995年05月16日
要約:
【要約】【目的】 液位レベルの変動を防止し金属蒸気を安定して発生させる金属蒸気発生装置の提供を目的とする。【構成】 蒸発用るつぼ3内端部に配置した溶融池10、又は、るつぼ3に接続して配置した補助るつぼ12内に補助電子銃7又は電気ヒータを使用して、原料金属の融点を上まわる温度レベルで安定な溶融部を形成し、当該部の液レベルを原料供給装置6より、ペレット状又はワイヤ状の金属原料5を供給することにより、一定に維持するとともに、この溶融金属を電子ビームを照射する金属蒸気発生装置の溶融部(電子ビーム照射部)に導くものである。
請求項(抜粋):
金属原料を収容する蒸発用るつぼと、上記金属原料を加熱・蒸発させる電子ビームを出射させる電子ビーム発生装置と、を真空容器内に収容した金属蒸気発生装置において、上記蒸発用るつぼの端に溶融金属を連続的に供給する溶融池を備え、この溶融池に固体金属を供給するための原料供給装置を備え、更に、上記溶融池に供給された上記固体金属を溶融するための加熱装置を備え、たことを特徴とする金属蒸気発生装置。

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