特許
J-GLOBAL ID:200903050908611902
X線吸収分光装置および方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
山川 政樹
, 黒川 弘朗
, 山川 茂樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-361475
公開番号(公開出願番号):特開2007-163339
出願日: 2005年12月15日
公開日(公表日): 2007年06月28日
要約:
【課題】X線源から放出するX線を効率よく利用して、X線源の強度および波長特性不安定性に影響されることなく良好なスペクトルを取得する。【解決手段】X線集光素子3により、X線源1から放出された広帯域X線2を集光してその一部を試料4へ照射し、X線結像素子6により、試料4を透過した透過光5Aと試料4を透過せずX線集光素子3から直接届いた直接光5Bの像を同時に転送し、波長分散素子7により、一次元空間情報を保ったままその転送像を波長分解し、二次元X線検出器9により、信号X線8Aと参照X線8Bのスペクトルを吸収スペクトルおよび参照スペクトルとして同時に取得する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
X線源から放出された広帯域X線を集光して照射するX線集光素子と、
前記X線集光素子から照射された広帯域X線のうち試料を透過して届いた透過光と前記試料を透過せず前記X線集光素子から直接届いた直接光との像を同時に転送するX線結像素子と、
前記X線結像素子から転送された像を当該像の一次元空間情報を保ったまま波長分解する波長分散素子と、
前記波長分散素子で波長分解された前記透過光および前記直接光の像に対応するスペクトルをそれぞれ信号X線吸収スペクトルおよび参照X線スペクトルとして同時に取得する二次元X線検出器と
を備えるX線吸収分光装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (15件):
2G001AA01
, 2G001BA12
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA09
, 2G001EA02
, 2G001FA01
, 2G001GA01
, 2G001GA06
, 2G001HA12
, 2G001JA13
, 2G001LA02
, 2G001MA05
, 2G001NA06
, 2G001NA17
引用特許:
引用文献:
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