特許
J-GLOBAL ID:200903050913797640

フッ化カルシウム結晶の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-136515
公開番号(公開出願番号):特開平9-315893
出願日: 1996年05月30日
公開日(公表日): 1997年12月09日
要約:
【要約】【課題】 高純度なフッ化カルシウム単結晶を効率よく得ることが可能な、フッ化カルシウム単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】 育成の前段階でスカベンジャーを用いた前処理を行い、高純度の前処理品を得ることにより、育成装置の汚染が防止され、不純物が少なく高純度なフッ化カルシウム単結晶を製造する。
請求項(抜粋):
フッ化カルシウムとスカベンジャーの混合物を、ルツボ内で熔融して多結晶の前処理品を得る前処理工程と、前記前処理品をルツボ内で再熔融して単結晶を育成する育成工程と、を含むフッ化カルシウム単結晶の製造方法。
IPC (3件):
C30B 29/12 ,  C30B 11/00 ,  G02B 1/02
FI (3件):
C30B 29/12 ,  C30B 11/00 Z ,  G02B 1/02
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (1件)

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