特許

J-GLOBAL ID：200903050916575680

表面検査装置

発明者： 長 谷 川 昇 ,  國 永 学 ,  内 藤 修 治
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 杉信 興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-083592
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278258
出願日： 1995年04月10日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】【目的】 表面異常の有無の識別精度を改善する。鋼板表面が振動する場合にも確実な検査を可能にする。【構成】 照明装置2から検査対象物1に入射する照明光の、検査位置PLでの入射光分布を、2つのピ-ク点を有するパタ-ン形状に定め、反射光強度分布パタ-ンを平担化する。反射光強度分布パタ-ンが平担になると、検査面の振動に対して、受光器の検出光量の変化が低減される。実質的な光源位置を互いに近接した2カ所に設け、それらの間に光を出射しない領域を設ける。照明装置に可変絞り機構を設けて、入射光強度分布パタ-ンを可変にする。

請求項（抜粋）：

検査対象物の表面に光を照射する照明装置と、前記検査対象物に照射された光の正反射方向に設置された受光装置と、該受光装置に入射した光に応じて前記検査対象物の表面の状態を識別する識別装置を備える表面検査装置において:前記照明装置に、互いに間隔をおいて隣接する2つの位置から、前記検査対象物の表面の実質的に同一の検査位置に向けて照明光を照射する照明機構を設けたことを特徴とする表面検査装置。