特許
J-GLOBAL ID：200903050917866123
マスフローコントローラー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-207174
公開番号（公開出願番号）：特開平6-028040
出願日： 1992年07月10日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、配管内の逆流を検出して、制御バルブを閉じる機能をマスフローコントローラーに持たせることにより、逆流を確実に止めるとともに配管内の清浄度の向上を図る。【構成】 流量センサ12を配管11に設け、配管11内の逆流を検出して逆流信号53を送信する逆流センサ13を流量センサ12よりも下流側の配管11に設ける。また流量センサ12で検出した流量信号51と設定流量値とを比較判定してバルブ制御信号52を送信するもので、かつ逆流信号53に基づいてバルブ閉塞信号54を送信する制御器14を設けるとともに、配管11に流す流体の流量設定値を制御器14に入力する設定器15を設ける。さらにバルブ制御信号52に基づいて流量の調節を行うもので、かつバルブ閉塞信号54に基づいて配管11を閉塞する制御バルブ16を流量センサ12と逆流センサ13との間の配管11に設けてなるものである。
請求項（抜粋）：
配管に設けた流量センサと、前記配管内の逆流を検出して逆流信号を送信するもので、前記流量センサよりも下流側の当該配管に設けた逆流センサと、前記流量センサで検出した流量信号と設定流量値とを比較判定してバルブ制御信号を送信するもので、かつ前記逆流センサで検出した逆流信号に基づいてバルブ閉塞信号を送信する制御器と、前記配管内を流れる流体の流量設定値を前記制御器に入力する設定器と、前記バルブ制御信号に基づいて流量の調節を行うもので、かつ前記バルブ閉塞信号に基づいて配管を閉塞するものであって、前記流量センサと前記逆流センサとの間の当該配管に設けた制御バルブとよりなることを特徴とするマスフローコントローラー。
IPC (5件)：
G05D 7/06
, B01J 4/00 102
, C23C 16/52
, H01L 21/205
, H01L 21/302
