特許
J-GLOBAL ID:200903050925797319

ブランクス及びブラックマトリクス

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 北村 欣一 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-275851
公開番号(公開出願番号):特開平11-119676
出願日: 1997年10月08日
公開日(公表日): 1999年04月30日
要約:
【要約】【課題】Crを含有せず、環境への影響が小さく、優れた耐食性を有すると共に従来のCr用ウエットエッチング液によるパターン形成が簡易で生産性に優れ、高い遮光性と優れた低反射性を有するブラックマトリクスを提供すること。【解決手段】透明基板1の表面上に直接若しくは間接に付着させて形成した遮光膜2又は遮光膜と反射防止膜3からなるブランクス及びブラックマトリクスに於いて、該遮光膜又は反射防止膜の金属成分をMoとNiとAl或いはMoとNiとTiを主成分とする薄膜とした。
請求項(抜粋):
透明基板の表面上に直接若しくは間接に付着させて形成した遮光膜又は遮光膜と反射防止膜からなるブランクス又はブラックマトリクスに於いて、該遮光膜又は反射防止膜の金属成分をMoとNiとAlを主成分とする薄膜としたことを特徴とするブランクス又はブラックマトリクス。
引用特許:
審査官引用 (8件)
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