探針付き回路検査素子及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-358795
公開番号（公開出願番号）：特開平7-058165
出願日： 1991年12月28日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】被検査デバイスの回路の高集積化に容易に対応し得る探針付き回路検査素子を提供する。【構成】導電性を有する微小探針11をその先端部11aが幅方向に広がった形状になることを阻止してポリイミド膜10に植立して探針付き絶縁性薄膜20を得る。この探針付き絶縁性薄膜20を支持枠の開口部に張設することにより探針付き回路検査素子が得られる。

請求項（抜粋）：

開口部を有する支持枠と、前記開口部を覆うように支持枠に設けられ且つ可撓性を有する絶縁性有機樹脂膜と、該絶縁性有機樹脂膜の所定の位置に穿設された貫通孔に設けられ且つ一端部を前記絶縁性有機樹脂膜の表面から突出させた探針と、前記各探針の他端部に電気的に接続された導電性パターンとを有する探針付き回路検査素子において、前記探針の絶縁性有機樹脂膜表面から突出した一端部の幅が、前記貫通孔の幅と同等又はそれ以下であることを特徴とする探針付き回路検査素子。

IPC (3件)：

H01L 21/66 , G01R 1/073 , G01R 31/26

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-293566
特開平3-158765
特開平3-179760

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