洗浄処理装置の制御方法

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：亀谷美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-214120
公開番号（公開出願番号）：特開平8-102457
出願日： 1995年07月31日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【課題】薬液交換を最適に実施可能な洗浄処理装置およびその制御方法【解決手段】本発明によれば、処理中に薬液が劣化して薬液を交換する必要が生じても、処理槽202から劣化した薬液を廃液した状態で、あるいはその処理槽を洗浄した状態で、次のロットの処理が実際に行われる直前まで、すなわち、次のロットがその処理槽の上流のいずれかの地点に到達するまで、新しい薬液の導入が待機されるので、処理槽への導入とともに始まる薬液の劣化を最小限に抑えることが可能となり、薬液に要する費用を軽減することが可能となる。さらに、まだ十分に使用に耐える薬液を交換してしまったり、あるいはすでに劣化した薬液により被処理体が洗浄されるような好ましくない事態の発生を最小限に抑えることが可能である。

請求項（抜粋）：

被処理体が装置外より搬入されるローダ部と、被処理体が装置外へ搬出されるアンローダ部とを備え、被処理体を同種の薬液により洗浄する1または2以上の薬液槽と、その薬液槽の下流に配置され被処理体を純水により洗浄する1または2以上の水洗槽とから成る1または2以上の洗浄ユニットが、前記ローダ部と前記アンローダ部との間に順次配列されて成る洗浄処理装置であって、制御器からの薬液交換信号に応じて、該当する薬液槽の薬液を廃液するための廃液手段と、その薬液槽の上流側の所定の位置に被処理体が到達したことを検出する位置検出手段と、その位置検出手段からの信号に応じて、その薬液槽に新しい薬液を導入する薬液導入手段と、から成ることを特徴とする洗浄処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 , H01L 21/304 , B05C 3/02

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭62-078828
特開昭62-078826
洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-350950 出願人：ソニー株式会社

審査官引用 (3件)

特開昭62-078828
特開昭62-078826
洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-350950 出願人：ソニー株式会社

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