特許

J-GLOBAL ID：200903050951121145

陽極酸化装置

発明者： 白橋 和男 ,  笹野 晃 ,  松川 由佳 ,  谷口 秀明 ,  内田 盛男 ,  平田 英一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 中村 純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-222810
公開番号（公開出願番号）：特開平5-061068
出願日： 1991年09月03日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】陽極酸化作業を容易に行なう。【構成】陽極酸化槽AOVに陽極酸化液受けOFLを設け、循環ポンプAPMにより陽極酸化槽AOVに陽極酸化液AOLを供給し、制御装置PCNにより循環ポンプAPMの吐出流量を制御して、陽極酸化槽AOV内の陽極酸化液AOLの液面LVLを第2導電膜g2が形成された下部透明ガラス基板SUB1に対して相対的に下げながら、陽極酸化する。

請求項（抜粋）：

陽極酸化槽内の陽極酸化液の液面を被陽極酸化膜が形成された基板に対して相対的に下げながら陽極酸化する陽極酸化装置において、上記陽極酸化槽に設けられた陽極酸化液受けと、上記陽極酸化槽に上記陽極酸化液を供給する供給装置とを具備することを特徴とする陽極酸化装置。

IPC (6件)：

G02F 1/136 500 ,  C25D 11/04 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/316 ,  H01L 27/12 ,  H01L 29/784