特許

J-GLOBAL ID：200903050952687398

枚葉基板の収納方法及び収納装置

発明者： 高倉 芳生 ,  珍部 弘 ,  杉山 徳治 ,  福渡 一郎
出願人/特許権者： 日立機電工業株式会社
代理人 (1件)： 森 治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-096420
公開番号（公開出願番号）：特開2003-292152
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 移載時には必要な支持部材同士の間隔を確保し、常時は狭い棚ピッチとすることにより、収納効率の良い高密度の枚葉基板の収納方法を提供する。【解決手段】昇降可能に支持された支持部材2と、支持部材2を所定の位置に保持するストッパーと、ストッパーを解除するとともに支持部材2を選択的に昇降させる昇降機構6とを設け、少なくとも枚葉基板1を取り出そうとする任意の支持部材2を上昇させるとともに、該支持部材2の下の支持部材2を下降させ、これら昇降した支持部材2の間にハンドを挿入し、前記任意の支持部材2をハンドより下に下降させることにより枚葉基板1をハンドに移載し、ハンドの抜き出し後に各支持部材2を元の位置に復帰させる。

請求項（抜粋）：

枚葉基板を支持する支持部材を、収納装置本体の両側に上下に複数段配設し、収納装置本体に挿入した移載機のハンドにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の収納方法において、昇降可能に支持された支持部材と、該支持部材を所定の位置に保持するストッパーと、該ストッパーを解除するとともに前記支持部材を選択的に昇降させる昇降機構とを設け、少なくとも枚葉基板を取り出そうとする任意の支持部材を上昇させるとともに、該支持部材の下の支持部材を下降させ、これら昇降した支持部材の間にハンドを挿入し、前記任意の支持部材をハンドより下に下降させることにより枚葉基板をハンドに移載し、ハンドの抜き出し後に各支持部材を元の位置に復帰させることを特徴とする枚葉基板の収納方法。

IPC (3件)：

B65G 49/06 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B65G 49/06 Z ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 V

Fターム (20件)：

2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031EA19 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA24 ,  5F031GA05 ,  5F031GA06 ,  5F031KA15 ,  5F031LA12 ,  5F031LA14 ,  5F031LA15 ,  5F031MA11 ,  5F031PA18