特許

J-GLOBAL ID：200903050962605187

基板収納ケース

発明者： 高野 径朗
出願人/特許権者： シグマメルテック株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-076638
公開番号（公開出願番号）：特開平11-255332
出願日： 1998年03月10日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【目的】 基板を自動搬送車で安定に搬送することができ、また、処理装置において上カバーを容易に開閉することができ、さらに、基板の上面および下面に傷をつけたりゴミを発生することのない基板収納ケースを提供することである。【構成】 下カバーの外周にケース固定手段と内部の左右に3個以上の段付基板支持具と内部の前後に2個以上の基板抑止具を具備し、前記上カバーの外周にケース開閉手段を具備し、また、上カバーに基板端面を斜めに押さえる基板押え具を具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

上カバーと下カバーとからなる枚葉式の基板収納ケースにおいて、前記下カバーの外周にケース固定手段と内部の左右に3個以上の段付基板支持具と内部の前後に2個以上の基板抑止具を具備し、前記上カバーの外周にケース開閉手段を具備したことを特徴とする基板収納ケース。

IPC (6件)：

B65G 49/07 ,  B65D 85/86 ,  G03F 1/14 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  H05K 5/00

FI (6件)：

B65G 49/07 L ,  G03F 1/14 M ,  H01L 21/68 T ,  H05K 5/00 A ,  B65D 85/38 R ,  H01L 21/30 503 E