特許

J-GLOBAL ID：200903050967102825

静電チャックの改良型表面形状構造及びその製造方法

発明者： アーノルド コロデンコ ,  アレキサンダー ヴエッツァー
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-340479
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256360
出願日： 1997年11月05日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】 ワークピースを保持するための新規な装置及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 装置は、ワークピース支持表面を有する静電チャックを含む。ワークピース支持表面は突出領域と非突出領域を有し、突出領域の総計表面積は非突出領域の総計表面積よりも小さい。装置は、可撓性回路を支持する表面を有するペディスタルを含む。チャックの表面形状は、可撓性回路をその表面に付着させ且つ型に従わせる前にペディスタルの表面を機械加工することにより、又は、可撓性回路内の電極の表面を彫刻することにより、形成される。

請求項（抜粋）：

ワークピースを保持する装置において、ワークピース支持表面を有する静電チャックであって、前記ワークピース支持表面が突出領域と非突出領域とを有し、前記突出領域の総計表面積が前記非突出領域の総計表面積よりも小さいものである前記静電チャックを備える装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D