特許

J-GLOBAL ID：200903050980320297

圧力センサ

発明者： 川口晃充
出願人/特許権者： イーグル工業株式会社
代理人 (1件)： 中林 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-345394
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172671
出願日： 1991年12月26日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：

【要約】【目的】 検出精度を高めることができる圧力センサを提供する。【構成】 ボディ5の内部空所に外部と連通するとともに、所定の距離となっているリード電極7を突設し、該リード電極7間に圧力の検出部1を取付け、前記空所内部にオイル2を充填するとともに、ステンレスダイアフラム4で閉塞してある。前記圧力の検出部1は、端部が前記リード電極7に取付けられるフリキシブルサーキット3からなる導電支持部6と、この導電支持部6にボンディングワイヤ18を介して接続される圧力センサ素子11とから構成されている。

請求項（抜粋）：

ボディの内部空所に外部と導通するとともに、所定の距離となっているリード電極を突設し、該リード電極間に圧力の検出部を取付け、前記空所内部にオイルを充填するとともに、ボディの開口部をステンレスダイアフラムで閉塞することを特徴とする圧力センサ。