マイクロレンズアレイの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：泉名謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-339981
公開番号（公開出願番号）：特開平5-150102
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：

【要約】【目的】レンズ間隔に比べて十分大きい開口径を有し、かつ収差の小さいマイクロレンズアレイを提供する。【構成】平板表面に形成したマスク層に、作製するレンズの個数と同数の円形微細開口を作製するレンズの位置に対応してマスク層に設け、該開口部を通して平板表面を部分的に化学エッチングした後、マスク層を取除き、更に化学的エッチングを施すことにより母型を作製し、該母型からマイクロレンズアレイ成形のための金型を得る。

請求項（抜粋）：

金型のもとになる母型の表面のレンズ形状を化学的エッチング法により形成する金型成形法によるマイクロレンズアレイの製造方法において、(1)母型となる平板表面に化学的エッチングを妨げるマスク層を形成し、(2)作製するレンズの個数と同数の円形の微細な開口部を作製するレンズの位置に対応して前記マスク層に設け、(3)該開口部を通してその平板表面を部分的に化学エッチングし、(4)次にマスク層を取除き、(5)更に化学的エッチングを施すことにより母型を作製することを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。

前のページに戻る