研磨装置および基板の研磨方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-098262
公開番号（公開出願番号）：特開2000-288925
出願日： 1999年04月06日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：

【要約】【課題】基板の保持が容易で、表面平坦性に優れる基板を与える研磨装置の提供。【解決手段】回転する駆動軸に軸承されたプラテンに貼付されている研磨布表面に、キャリアに保持された基板を研磨布上方より押し当てて基板と研磨布を擦動させて基板の表面を研磨する装置であって、前記キャリアは、中空軸に軸承された円筒状ヘッド下端に固定された円盤状の取付板に固定された円錐台状の座金の外周に円錐台状であって中央が空洞である可撓性膜を該座金と可撓性膜で機密性の高い空間が形成されるように取り付けた構造の基板取付部材と、中空軸内に設けられ、前記座金の略中央部に座金の鉛直方向に頭部より底部に亘って設けられた気体流路に接続された気体供給管と気体減圧管と、前記基板取付部材の外周を囲み、かつ、基板取付部材に取り付けられた基板の下端面には届かない高さを有する円筒状のハウジング部材を具備する、ことを特徴とする研磨装置。

請求項（抜粋）：

回転する駆動軸に軸承されたプラテンに貼付されている研磨布表面に、キャリアに保持された基板を研磨布上方より押し当てて基板と研磨布を擦動させて基板の表面を研磨する装置であって、前記キャリアは中空軸に軸承された円筒状ヘッド下端に固定された円盤状の取付板に固定された円錐台状の座金の外周に円錐台状であって中央が空洞である可撓性膜を該座金と可撓性膜で機密性の高い空間が形成されるように取り付けた構造の基板取付部材と、中空軸内に設けられ、前記座金の略中央部に座金の鉛直方向に頭部より底部に亘って設けられた気体流路に接続された気体供給管と気体減圧管と、前記基板取付部材の外周を囲み、かつ、基板取付部材に取り付けられた基板の下端面には届かない高さを有する円筒状のハウジング部材を具備する、ことを特徴とする研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 H , H01L 21/304 622 H

Fターム (12件)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058AA12 , 3C058AB03 , 3C058AB04 , 3C058AB06 , 3C058AC04 , 3C058BB04 , 3C058BC02 , 3C058CB01 , 3C058CB10 , 3C058DA17

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