基板測定方法および装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-110049
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304688
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】基板の測定面上の検体の測定方法において、装置の制御や構成を単純化し、測定時間を短縮し、測定条件の一定化、位置精度向上を図る方法を提供する。【解決手段】検出器による検出領域を前記基板に対して相対的に移動させて該検出領域の円軌道を前記測定面上に形成することにより前記検体を測定することを特徴とする測定方法。ならびに装置。

請求項（抜粋）：

基板の測定面上の検体の測定方法であって、検出器による検出領域を前記基板に対して相対的に移動させて該検出領域の円軌道を前記測定面上に形成することにより前記検体を測定することを特徴とする測定方法。

IPC (7件)：

G01N 21/17 , C12N 15/09 ZNA , C12Q 1/68 , G01J 1/04 , G01N 21/64 , G01N 21/78 , G01N 33/50

FI (7件)：

G01N 21/17 A , C12Q 1/68 A , G01J 1/04 D , G01N 21/64 F , G01N 21/78 C , G01N 33/50 P , C12N 15/00 ZNA A

Fターム (99件)：

2G043AA03 , 2G043CA06 , 2G043DA02 , 2G043EA01 , 2G043FA01 , 2G043GA06 , 2G043GA07 , 2G043GA21 , 2G043GB01 , 2G043HA01 , 2G043HA02 , 2G043HA08 , 2G043JA01 , 2G043KA02 , 2G043LA02 , 2G043NA16 , 2G045AA34 , 2G045AA35 , 2G045BB01 , 2G045BB14 , 2G045BB18 , 2G045BB48 , 2G045CB30 , 2G045DA13 , 2G045DA36 , 2G045FA16 , 2G045FA17 , 2G045FA19 , 2G045FA26 , 2G045FA29 , 2G045FB02 , 2G045FB12 , 2G045GC15 , 2G054AA06 , 2G054BB01 , 2G054BB05 , 2G054BB11 , 2G054CA22 , 2G054CA23 , 2G054CA30 , 2G054CD01 , 2G054EA03 , 2G054EB01 , 2G054EB14 , 2G054FA19 , 2G054FA20 , 2G054FA21 , 2G054GA03 , 2G054GA04 , 2G054GB01 , 2G054JA04 , 2G054JA20 , 2G059AA05 , 2G059BB12 , 2G059CC20 , 2G059DD01 , 2G059EE07 , 2G059FF01 , 2G059FF12 , 2G059HH02 , 2G059HH06 , 2G059JJ02 , 2G059JJ07 , 2G059JJ11 , 2G059JJ21 , 2G059KK02 , 2G059MM20 , 2G059PP01 , 2G059PP10 , 2G065AA11 , 2G065AB04 , 2G065AB11 , 2G065AB27 , 2G065BA18 , 2G065BC11 , 2G065BC40 , 2G065BD01 , 4B024AA11 , 4B024AA19 , 4B024AA20 , 4B024CA01 , 4B024CA06 , 4B024CA09 , 4B024HA11 , 4B024HA13 , 4B063QA01 , 4B063QA13 , 4B063QQ03 , 4B063QQ42 , 4B063QQ79 , 4B063QR32 , 4B063QR48 , 4B063QR56 , 4B063QR66 , 4B063QR84 , 4B063QS03 , 4B063QS34 , 4B063QS39 , 4B063QX02

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