特許
J-GLOBAL ID：200903051002827653
マスフローコントローラのゼロ点シフト及びスパンシフトを自動補正する方法及びその自動補正機能付きマスフローコントローラ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-095285
公開番号（公開出願番号）：特開平5-289751
出願日： 1992年04月15日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 半導体製造ラインなどに設置したままの状態でゼロ点シフト及びスパンシフトを自動補正する方法及びその機能を備えたMFCを提供すること。【構成】 センサコイルに通じる電流値を段階的に変化させる電流変換部を設け、センサの初期校正時に前記電流変換部の電流変化に基づく各不平衡電圧を記憶し、他方センサを使用中で、初期校正時と同条件で検出した各不平衡電圧を記憶し、この両不平衡電圧を比較、演算することによって得られるゼロ点補正量とスパン補正量に基づいて、自動的にゼロ点シフト及びスパンシフトを補正するMFCである。
請求項（抜粋）：
被測定流体が流れるセンサパイプの上流側と下流側との外周面にそれぞれ感熱抵抗線によって形成した上流側コイルと下流側コイルとを巻回し、該上流側コイルと下流側コイルと他の抵抗によってブリッジ回路を構成し、前記上流側コイルと下流側コイルに通じる電流を等しくほぼ一定に保ち、前記ブリッジ回路の不平衡電圧を検出することによって前記センサパイプ内を流れる流体の流量を測定する熱式質量流量計センサを備えたマスフローコントローラにおいて、前記センサの初期校正時に流体を流さない状態で、前記センサの上流側コイルおよび下流側コイルのいずれかまたは両方に通じる電流を段階的に変化させ、両コイルに通じる電流差から生じる温度差すなわち抵抗差をブリッジ回路の各不平衡電圧として取り出し記憶し、その後の該マスフローコントローラを使用中の随時において、前記初期校正時と同条件で検出した各不平衡電圧を記憶し、前記初期校正時の各不平衡電圧と前記使用中での各不平衡電圧を比較して得られるゼロ点補正量とスパン補正量に基づいて随時、自動的にゼロ点シフト及びスパンシフトを補正することを特徴とするマスフローコントローラのゼロ点シフト及びスパンシフトを自動補正する方法。
IPC (4件)：
G05D 7/06
, G01F 1/68
, G01F 25/00
, H01L 21/205
