特許
J-GLOBAL ID：200903051008358450
投影露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-343539
公開番号（公開出願番号）：特開平6-177006
出願日： 1992年12月01日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】 透過率調整膜の劣化に伴う飛散、剥離等を防止し、投影レンズに微細な飛散粒子や剥離片が付着しないようにする。【構成】 ガラス材料からなる透光性を有する2枚の平面板22,25で透過率調整膜23と遮光膜24を挟み込んだサンドウイッチ構造の瞳フィルタ30を投影レンズの開口絞り位置に配置する。
請求項（抜粋）：
原図基板上のパターンを投影レンズを介して被露光基板上に投影露光、転写する投影露光装置において、前記投影レンズの開口絞り位置に、前記原図基板を照明する2次光源の形状に対応させた瞳フィルタを配置してなり、この瞳フィルタは任意の透過率分布を有する透過率調整膜を透光性を有する2枚の平面板で挟んで形成されていることを特徴とする投影露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G02B 5/00
, G03B 27/32
, G03F 7/20 521
