特許
J-GLOBAL ID:200903051011726444

オクタ・フロロ・シクロ・ペンテン検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木村 勝彦 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-050879
公開番号(公開出願番号):特開2000-249695
出願日: 1999年02月26日
公開日(公表日): 2000年09月14日
要約:
【要約】【課題】 妨害成分となるCF4、C2F6を含む被検ガス中のオクタ・フロロ・シクロ・ペンテンを選択的に検出すること。【解決手段】 流入口と流出口を備え、ガスの加熱温度が調整可能な反応炉1と、流出口に接続され、酸性ガスとの呈色反応により濃度を測定する検知紙式ガス検出装置10とからなり、反応炉1が、C2F6に対する出力が無視でき、かつオクタ・フロロ・シクロ・ペンテンに対する出力を得ることができる温度に設定されているので、無用に高温での加熱を必要とすることなく、かつオクタ・フロロ・シクロ・ペンテンだけを酸性検知反応試薬で検出できる成分に分解する。
請求項(抜粋):
流入口と流出口を備え、ガスの加熱温度が調整可能な反応炉と、前記流出口に接続され、酸性ガスとの呈色反応により濃度を測定する検知紙式ガス検出装置とからなり、前記反応炉が、C2F6に対する出力が無視でき、かつオクタ・フロロ・シクロ・ペンテンに対する出力を得ることができる温度に設定されているオクタ・フロロ・シクロ・ペンテン検出装置。
IPC (3件):
G01N 31/00 ,  G01N 31/12 ,  G01N 31/22 121
FI (3件):
G01N 31/00 V ,  G01N 31/12 B ,  G01N 31/22 121 C
Fターム (10件):
2G042AA01 ,  2G042BD02 ,  2G042CA10 ,  2G042CB01 ,  2G042DA05 ,  2G042DA08 ,  2G042FA11 ,  2G042FB07 ,  2G042FC01 ,  2G042GA01

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