研磨装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-017984
公開番号（公開出願番号）：特開2000-218549
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：

【要約】【課題】砥石の厚さを測定することなく容易に砥石の交換時期を判定することができる研磨装置の提供。【解決手段】回転する円盤状の砥石1に、被研磨物を自転させつつ押し当て研磨する研磨装置の砥石を、円盤状の砥石に、砥石の側面であって砥石の使用限界(砥石として使用できる最低厚さ部分)と砥石の研磨面(摩耗面)と相反する側の面にかけての領域と、使用限界と研磨面との間であって三角波状の領域と着色域7を設ける。これにより容易に砥石の交換時期を容易に認識することが可能となる。

請求項（抜粋）：

回転する円盤状の砥石に、被研磨物を自転させつつ押し当て研磨する研磨装置において、前記円盤状の砥石に、操作者に対し視覚的に当該砥石の使用限界を認識させ得る指標を形成したことを特徴とする研磨装置。

Fターム (6件)：

3C063AA02 , 3C063AB05 , 3C063BA02 , 3C063BA24 , 3C063EE10 , 3C063FF13

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