放射検出器及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-358601
公開番号（公開出願番号）：特開2006-177940
出願日： 2005年12月13日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：

【課題】複数の光検出器素子と変換器層とを備え、安いコストで製造することができ、変換器層の高い量子効率を可能にする放射検出器を提供する。【解決手段】相並んで配置され検出面8を定める複数の検出器素子1と、その上方に置かれ入射する第1の波長範囲の放射を第2の波長範囲の放射に変換する変換器層3とを備え、変換器層3を二次元フォトニック結晶として形成し、このフォトニック結晶は第2の波長範囲の放射に対し検出面8に平行なあらゆる方向において減ぜられた透過性を有し、変換器層中に分離隔壁を設けることなしに検出器素子1の各チャネル間の漏話を防止する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

相並んで配置され検出面(8)を定める複数の光検出器素子(1)と、その上方に置かれ第1の波長範囲の放射を第2の波長範囲の放射に変換する変換器層(3)とを備え、光検出器素子(1)は第2の波長範囲の放射に感応性である放射検出器において、変換器層(3)が少なくとも二次元フォトニック結晶として形成され、このフォトニック結晶は第2の波長範囲の放射に対し検出面(8)に平行なあらゆる方向において少なくとも減ぜられた透過性を有することを特徴とする放射検出器。

IPC (3件)：

G01T 1/20 , H01L 31/09 , H01L 27/14

FI (6件)：

G01T1/20 B , G01T1/20 D , G01T1/20 G , H01L31/00 A , H01L27/14 K , H01L27/14 D

Fターム (26件)：

2G088EE01 , 2G088FF02 , 2G088GG10 , 2G088GG14 , 2G088GG16 , 2G088GG19 , 2G088GG20 , 2G088JJ05 , 2G088JJ09 , 2G088JJ10 , 4M118AA05 , 4M118BA06 , 4M118CA02 , 4M118CA32 , 4M118CB11 , 4M118GB03 , 4M118GB10 , 4M118GB19 , 4M118GB20 , 4M118GD20 , 5F088AA01 , 5F088AB02 , 5F088BB07 , 5F088HA10 , 5F088HA15 , 5F088LA08

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