特許
J-GLOBAL ID：200903051018599006
能動素子基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-186057
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011705
出願日： 1992年06月19日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：
【要約】【目的】 能動素子基板に用いられる石英ガラス材料の高耐熱化及び高純度化を図る。【構成】 能動素子基板は合成石英ガラス基板1から構成されている。この合成石英ガラス材料はNa及びAlの不純物金属濃度が低くそれぞれ0.1ppm以下及び1ppm 以下で高純度であるとともに、OH基濃度が200ppm 以下及びCl基含有量が50ppm 以下に抑制されているので高信頼性及び高耐熱性を有する。又、熱による反り変形も少ない。合成石英ガラス基板1の表面にはTFT6からなる能動素子及び画素電極7が形成されており、アクティブマトリクス型液晶表示装置の駆動基板に用いられる。この駆動基板と対向基板2との間に液晶層3が挟持され液晶パネルを構成する。
請求項（抜粋）：
ガラス基板上に能動素子群が形成された能動素子基板において、前記ガラス基板はOH基濃度が200ppm 以下、及びCl基含有量が50ppm以下の合成石英ガラスから構成されている事を特徴とする能動素子基板。
IPC (4件)：
G02F 1/1333 500
, C03C 3/06
, C03C 4/00
, G02F 1/136 500
