特許
J-GLOBAL ID：200903051023069392
トンネルスペクトロスコピー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-223866
公開番号（公開出願番号）：特開平6-068834
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】 探針の異常な動きを防ぎ繰り返し探針を固定する場合の操作時間を短縮することができるトンネルスペクトロスコピーを提供する。【構成】 探針4を固定してバイアス制御回路6によりバイアス電圧を掃引し、探針4と試料5表面との間に流れるトンネル電流を検出して試料の局所領域の分析を行い、バイアス電圧を一定の値に固定してトンネル電流が一定になるようにプリアンプ8、帰還アンプ9、駆動アンプ23を通してZピエゾスキャナー33に帰還し探針4を試料5表面との間でZ方向に制御しながら試料表面に沿って走査回路1、駆動アンプ21、22、ピエゾスキャナー31、ピエゾスキャナー32によりXY方向に移動するトンネルスペクトロスコピーで、帰還アンプ9のスイッチ91により局所領域の分析後に探針4の固定を解除する場合には、バイアス電圧を掃引終了時の値から一定の値に戻した後に一定時間経過してから解除する。これにより、解除時における探針と試料との間の浮遊容量による検出誤差もなくなり、探針の異常な動きをなくすことができる。
請求項（抜粋）：
探針を固定してバイアス電圧を掃引し、探針と試料表面との間に流れるトンネル電流を検出して試料の局所領域の分析を行い、バイアス電圧を一定の値に固定してトンネル電流が一定になるように探針を試料表面との間でZ方向に制御しながら試料表面に沿ってXY方向に移動するトンネルスペクトロスコピーにおいて、局所領域の分析後に探針の固定を解除する場合には、バイアス電圧を掃引終了時の値から一定の値に戻した後に一定時間経過してから解除するようにしたことを特徴とするトンネルスペクトロスコピー。
IPC (2件)：
引用特許：
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