特許

J-GLOBAL ID：200903051030941216

金属ガスケットの表面処理方法

発明者： 牧村 兵衛 ,  假屋 隆広
出願人/特許権者： 三菱電線工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-083267
公開番号（公開出願番号）：特開平9-242877
出願日： 1996年03月11日
公開日（公表日）： 1997年09月16日
要約：

【要約】【課題】 シール性および清浄性に優れた金属ガスケットの表面処理方法、特に、半導体装置に好適に用いられる金属ガスケットの表面処理方法を提供すること。【解決手段】 金属ガスケットの表面を、酸性溶液を用いて表面処理することを特徴とする金属ガスケットの表面処理方法。

請求項（抜粋）：

金属ガスケットの表面を、酸性溶液を用いて表面処理することを特徴とする金属ガスケットの表面処理方法。

IPC (4件)：

F16J 15/08 ,  C23F 1/00 ,  C23F 3/03 ,  C23F 3/06

FI (4件)：

F16J 15/08 Z ,  C23F 1/00 A ,  C23F 3/03 ,  C23F 3/06