特許

J-GLOBAL ID：200903051031843200

導電膜付きガラス板とその製造方法、およびこれを用いた光電変換装置

発明者： 藤沢 章 ,  平田 昌宏 ,  清原 康一郎
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-080962
公開番号（公開出願番号）：特開2001-039738
出願日： 2000年03月22日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：

【要約】【課題】 酸化錫を主成分とし、低い吸収率と高いヘイズ率とを兼ね備えた導電膜を成膜したガラス板を提供する。【解決手段】 有機錫化合物の蒸気と酸素と水蒸気とを含み、有機錫化合物に含まれる錫原子1モルに対し、酸素および水蒸気の合計量が14モル以上の範囲にある混合ガスを熱分解して、ガラス板上またはガラスリボン上に、酸化錫を主成分とする膜厚400nm以上の導電膜を成膜する。この導電膜上に光電変換ユニット、裏面電極を形成すれば、光電変換装置の光電変換効率を改善できる。

請求項（抜粋）：

膜厚が400nm以上の酸化錫を主成分とする導電膜がガラス板上に形成された導電膜付きガラス板の製造方法であって、有機錫化合物の蒸気と酸素と水蒸気とを含み、前記有機錫化合物に含まれる錫原子1モルに対し、酸素および水蒸気の合計量が14モル以上の範囲にある混合ガスを熱分解することにより、ガラス板上またはガラス板製造工程におけるガラスリボン上に、前記導電膜を成膜することを特徴とする導電膜付きガラス板の製造方法。

IPC (6件)：

C03C 17/245 ,  C03C 17/34 ,  C23C 16/40 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00 503 ,  H01L 31/04

FI (6件)：

C03C 17/245 Z ,  C03C 17/34 Z ,  C23C 16/40 ,  H01B 5/14 A ,  H01B 13/00 503 B ,  H01L 31/04 M

Fターム (42件)：

4G059AA06 ,  4G059AB01 ,  4G059AB11 ,  4G059AB13 ,  4G059AC12 ,  4G059EA02 ,  4G059EA05 ,  4G059EB01 ,  4G059GA01 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA12 ,  4K030AA03 ,  4K030AA04 ,  4K030AA06 ,  4K030AA10 ,  4K030AA14 ,  4K030AA18 ,  4K030BA44 ,  4K030BA45 ,  4K030BB12 ,  4K030CA06 ,  4K030FA10 ,  4K030JA20 ,  4K030LA04 ,  5F051AA03 ,  5F051AA05 ,  5F051BA16 ,  5F051CA02 ,  5F051CA03 ,  5F051CA04 ,  5F051CA16 ,  5F051CB29 ,  5F051DA04 ,  5F051FA03 ,  5F051FA19 ,  5F051GA06 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC09 ,  5G323BA04 ,  5G323BB03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-225373
  
• 特開昭63-199863
  
• 特開平1-145350