特許
J-GLOBAL ID：200903051033087356
光走査装置のビーム位置調整方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-116212
公開番号（公開出願番号）：特開2003-307691
出願日： 2002年04月18日
公開日（公表日）： 2003年10月31日
要約：
【要約】【課題】 レーザビーム位置の調整を短時間で行う。【解決手段】 ガルバノミラーを制御して可動レーザビームをビーム位置Aの許容範囲内に追い込んでからビーム位置Aに関する回路オフセットを測定する。そして、可動レーザビームをビーム位置Aに回路オフセット分を差し引いて正確に追い込み、そのときのセンサの出力値DAを記憶する。次に、ガルバノミラーを制御して可動レーザビームをビーム位置Bの許容範囲内に追い込んでからビーム位置Bに関する回路オフセットを測定する。そして、可動レーザビームをビーム位置Bに回路オフセット分を差し引いて正確に追い込み、そのときのセンサの出力値DBを記憶する。そして、出力値DA、DBの差と、固定レーザビームSによるセンサの出力値DSと可動レーザビームMによるセンサの出力値DMとの差が等しくなるように可動レーザビームMの最終的なビーム位置を設定する。
請求項（抜粋）：
駆動制御によってミラー面の角度を可変できるガルバノミラーを使用するとともに走査位置が固定された固定光ビームと走査位置が前記ガルバノミラーのミラー面の角度調整により可動される可動光ビームとの通過位置を検出するセンサを使用した光走査装置において、前記センサの受光面上に解像度に対応した間隔で第1の通過目標位置とその許容範囲及び第2の通過目標位置とその許容範囲を設定し、先ず、前記ガルバノミラーのミラー面の角度を調整して可動光ビームが第1の通過目標位置の許容範囲内に入るように設定してからその可動光ビームの放射を停止させたときの回路オフセットを測定し、続いて、可動光ビームを再び放射させ、測定した回路オフセット分を差し引いてその可動光ビームが第1の通過目標位置に設定されるように追い込みを行い、可動光ビームが第1の通過目標位置に設定されるとそのときの前記センサ出力に基づく値DAを記憶し、続いて、前記ガルバノミラーのミラー面の角度を調整して可動光ビームが第2の通過目標位置の許容範囲内に入るように設定してからその可動光ビームの放射を停止させたときの回路オフセットを測定し、続いて、可動光ビームを再び放射させ、測定した回路オフセット分を差し引いてその可動光ビームが第2の通過目標位置に設定されるように追い込みを行い、可動光ビームが第2の通過目標位置に設定されるとそのときの前記センサ出力に基づく値DBを記憶し、前記センサの受光面上を前記固定光ビームが通過したときの前記センサ出力に基づく値DSと前記センサの受光面上を可動光ビームが通過したときの前記センサ出力に基づく値DMとの差が、記憶した値DAとDBとの差に一致するように前記ガルバノミラーのミラー面の角度を調整して可動光ビームの最終的な通過位置を決めることを特徴とする光走査装置のビーム位置調整方法。
IPC (3件)：
G02B 26/10
, B41J 2/44
, G02B 26/08
G02B 26/10 A
, G02B 26/10 B
, G02B 26/10 F
, G02B 26/08 E
, B41J 3/00 D
2C362AA07
, 2C362AA49
, 2C362BA04
, 2C362BA48
, 2C362BA71
, 2C362BA83
, 2H041AA11
, 2H041AB14
, 2H041AC05
, 2H041AZ02
, 2H045BA22
, 2H045BA33
, 2H045CA82
, 2H045CA88
, 2H045CA95
, 2H045DA02
, 2H045DA12
