特許

J-GLOBAL ID：200903051049740106

酸素センサー用電極の電極部パターン作製方法

発明者： 坂入 弘一
出願人/特許権者： 田中貴金属工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-315705
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190986
出願日： 1992年10月30日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】 正確に面積が規定された電極を持つ酸素センサーが作製できる方法を提供する。【構成】 (A)タンマン管表面へ無電解メッキ用核を作成し、(B)無電解メッキにより電極を作製したい部分をマスキング材により覆い、(C)マスキング材で覆われていない部分をブラストにより研磨する。無電解メッキは(A)と(B)の間、または(C)の後に行う。

請求項（抜粋）：

酸素センサーの作製方法において、(A)タンマン管表面へ無電解メッキ用核を作製する工程、(B)無電解メッキにより電極を作製したい部分をマスキング材により覆う工程、(C)マスキング材で覆われていない部分をブラストにより研磨する工程より成ることを特徴とする酸素センサー用電極の電極部パターン作製方法。

IPC (2件)：

G01N 27/409 ,  C23C 18/31