特許
J-GLOBAL ID：200903051050519570
ポリシラザンからのセラミックス製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保田 耕平 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-111655
公開番号（公開出願番号）：特開平5-306173
出願日： 1992年04月30日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：
【要約】【目的】 ポリシラザンをより低温かつ短時間にセラミックス化すること。【構成】 ポリシラザンを、酸素を含む原子団の活性種に作用させてセラミックス化してケイ素-窒素-酸素を含有するセラミックスを得る。酸素を含む原子団の活性種の発生は、例えば、グロー放電による。
請求項（抜粋）：
ポリシラザンに、酸素を含む原子団の活性種を作用させてセラミックス化することを特徴とするポリシラザンからのセラミックス製造方法。
IPC (2件)：
C04B 35/58 102
, C04B 35/58 301
