特許

J-GLOBAL ID：200903051051230409

金属蒸着フィルムの製造方法

発明者： 田中 善雄 ,  大島 桂典 ,  永井 逸夫
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-225939
公開番号（公開出願番号）：特開平6-065712
出願日： 1992年08月25日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：

【要約】【目的】酸素透過率、および水蒸気透過率の優れた金属蒸着フィルムを安定して、かつ廉価に製造できる。【構成】プラスチックフィルムからなる基体の表面を、マグネトロン電極を使用し、6×10-1 パスカル以下の圧力で炭酸ガスの低温プラズマ雰囲気中で前処理し、該処理面に連続して金属蒸着膜を設けたことを特徴とする金属蒸着フィルム。

請求項（抜粋）：

プラスチックフィルムからなる基体の表面を、マグネトロン電極を使用し、6×10-1 パスカル以下の圧力で炭酸ガスの低温プラズマ雰囲気中で前処理し、該処理面に連続して金属蒸着膜を設けることを特徴とする金属蒸着フィルムの製造方法。

IPC (2件)：

C23C 14/02 ,  C23C 14/20

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平3-247750
  
• 特開昭63-270455
  
• 特開平1-255661
  

審査官引用 (3件)

• 特開平3-247750
  
• 特開昭63-270455
  
• 特開平1-255661