特許
J-GLOBAL ID：200903051052817098

薄膜太陽電池の製造装置

発明者：
坂井 亮平

坂井 亮平 について


出願人/特許権者：
富士電機システムズ株式会社

富士電機システムズ株式会社 について


代理人 (3件)： 奥山 尚一 ,  有原 幸一 ,  松島 鉄男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-210719
公開番号（公開出願番号）：特開2009-049028
出願日： 2007年08月13日
公開日（公表日）： 2009年03月05日
要約：
【課題】 ガイドロールによる搬送シワの発生を防止し、作業性の向上を図りうる薄膜太陽電池の製造装置を提供する。【解決手段】 巻き出しロールに巻かれた帯状可撓性のフィルム基板を略真空状態に維持された複数の成膜室に送り、前記成膜室に互いに対向して配置された接地電極とターゲット材を有する印加電極との間で放電させて、フィルム基板の面上に電極となる金属薄膜を、一定の加熱下で形成し、金属薄膜が形成されたフィルム基板を巻取りロールで巻き取るようにした薄膜太陽電池の製造装置において、前記成膜室6相互間に、前記フィルム基板1を搬送するガイドロール7を備えた中間室8を設け、該中間室8の前段に設けられた前記成膜室6から送られる前記フィルム基板1の温度を、前記成膜室6を出てから前記中間室8のガイドロール7に達するまでに170°Cあるいはそれ以下まで低下させるように、前記中間室8の前段に設けられた前記成膜室6の出口6aから前記ガイドロール7までの距離Lを設定した装置。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
巻き出しロールに巻かれた帯状可撓性のフィルム基板を略真空状態に維持された複数の成膜室に送り、前記成膜室に互いに対向して配置された接地電極とターゲット材を有する印加電極との間で放電させて、フィルム基板の面上に電極となる金属薄膜を、一定の加熱下で形成し、金属薄膜が形成されたフィルム基板を巻取りロールで巻き取るようにした薄膜太陽電池の製造装置において、前記成膜室相互間に、前記フィルム基板を搬送するガイドロールを備えた中間室を設け、該中間室の前段に設けられた前記成膜室から送られる前記フィルム基板の温度を、前記成膜室を出てから前記中間室のガイドロールに達するまでに170°Cあるいはそれ以下まで低下させるように、前記中間室の前段に設けられた前記成膜室の出口から前記ガイドロールまでの距離を設定したことを特徴とする薄膜太陽電池の製造装置。
IPC (3件)：
H01L 31/04 ,  C23C 14/56 ,  C23C 14/34
FI (3件)：
H01L31/04 T ,  C23C14/56 D ,  C23C14/34 K
Fターム (14件)：
4K029AA25 ,  4K029BA03 ,  4K029BA04 ,  4K029BA49 ,  4K029CA05 ,  4K029DA08 ,  4K029DC03 ,  4K029DC05 ,  4K029EA08 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03 ,  4K029KA09 ,  5F051CA13 ,  5F051CA22
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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