特許
J-GLOBAL ID：200903051057913800
加速度・圧力検出素子およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-306612
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160072
出願日： 1994年12月09日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 小型かつ簡素な構造であって、安価に得られる加速度・圧力検出素子を提供する。【構成】 板状を呈し、薄肉の支持片を含む重り部111と薄肉のダイヤフラム部112とが板内にて板面方向に並んで形成されたシリコン基板11と、重り部111に対向する加速度検出用電極14および15と、ダイヤフラム部112に対向する圧力検出用電極16とを有している。重り部111の変位による重り部111と加速度検出用電極14および15との間の静電容量の変化に基づき加速度を検出すると共に、ダイヤフラム部112の変位によるダイヤフラム部112と圧力検出用電極16との間の静電容量の変化に基づき圧力を検出する。
請求項（抜粋）：
板状を呈し、薄肉の支持片を含む重り部と薄肉のダイヤフラム部とが板内にて板面方向に並んで形成されたシリコン基板と、前記重り部に対向する加速度検出用電極と、前記ダイヤフラム部に対向する圧力検出用電極とを有し、前記重り部の変位による前記重り部と前記加速度検出用電極との間の静電容量の変化に基づき加速度を検出すると共に、前記ダイヤフラム部の変位による前記ダイヤフラム部と前記圧力検出用電極との間の静電容量の変化に基づき圧力を検出することを特徴とする加速度・圧力検出素子。
IPC (3件)：
G01P 15/125
, G01L 9/12
, H01L 29/84
