特許
J-GLOBAL ID：200903051058167877
多結晶シリコン共振ビーム変換器およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-078988
公開番号（公開出願番号）：特開平5-332852
出願日： 1991年04月11日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】 強度と安定性を得る。【構成】 基板と、基板の端部に取り付けられ、基板の端部の間で基板から間隔をあけて自由に振動することの可能な多結晶シリコン・ビームと、上記のビームを取り囲み、基板に取り付けられた多結晶シリコンの封入シェルであって、ビームを取り囲み外気から密封された空洞を基板に形成し、空洞は実質的に排気されている上記の封入シェルと、上記のビーム内に機械的振動を励起する手段と、上記の多結晶シリコン・シェルを介して上記のビームに光を照射する手段、および上記のビームから反射された照射光を受光しこの受光した光をこれに対応しかつ上記のビームの振動を表す電気信号に変換する手段と、を有する。
請求項（抜粋）：
(a)基板と、(b)基板の端部の少なくとも1つに取り付けられ、基板の端部の間で基板から間隔をあけて自由に振動することの可能な多結晶シリコン・ビームと、(c)上記のビームを取り囲み、基板に取り付けられた多結晶シリコンの封入シェルであって、ビームを取り囲み外気から密封された空洞を基板に形成し、空洞は実質的に排気されている上記の封入シェルと、(d)上記のビームに機械的振動を励起する手段と、(e)上記の多結晶シリコン・シェルを介して上記のビームに光を照射する手段、および上記のビームから反射された照射光を受光しこの受光した光をこれに対応しかつ上記のビームの振動を表す電気信号に変換する手段と、を有することを特徴とする共振ビーム変換器。
IPC (4件)：
G01L 1/10
, H01L 29/84
, H01L 41/08
, H01S 3/00
