レーザービーム露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-056387
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249951
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】レーザー光を感光材料面上に照射した際に発生する干渉ノイズを除去し得るレーザービーム露光装置を提供する。【解決手段】レーザー光はシングルモードレーザー光からなり、複数のレーザー光を感光材料面上の同一箇所に照射すると共に、同一照射箇所において感光材料面上に入射した光ビームと感光材料面を透過して感光材料の支持体裏面で反射することにより感光材料面に戻ってきた光ビームとが重なり合う部分を持っている状態の時、複数のレーザー光のうちの任意のレーザー光が有する波長λ1に対して、該複数のレーザー光中に下記式(A)(式中、dは支持体の厚み、n1は波長λ1に対する支持体の屈折率、n2は波長λ2に対する支持体の屈折率、mは奇数である。)を満たす波長λ2を有するレーザー光を少なくとも一つ有している。4*d*|n1/λ1-n2/λ2|=m (A)

請求項（抜粋）：

複数のレーザー光を感光材料面上に照射することにより該感光材料面に画像を露光するレーザービーム露光装置であって、上記レーザー光はシングルモードレーザー光からなり、該複数のシングルモードレーザー光を上記感光材料面上の同一箇所に照射すると共に、該同一照射箇所において感光材料面上に入射した光ビームと感光材料面を透過して感光材料の支持体裏面で反射することにより上記感光材料面に戻ってきた光ビームとが重なり合う部分を持っている状態の時、上記複数のシングルモードレーザー光のうちの任意のレーザー光が有する波長λ1に対して、該複数のシングルモードレーザー光中に下記式(A)を満たす波長λ2を有するレーザー光を少なくとも必ず一つ有していることを特徴とするレーザービーム露光装置。【数1】式(A)4*d*|n1/λ1-n2/λ2|=m(式中、dは支持体の厚み、n1は波長λ1に対する支持体の屈折率、n2は波長λ2に対する支持体の屈折率、mは奇数である。)

IPC (2件)：

G02B 26/10 , G03C 5/08

FI (2件)：

G02B 26/10 D , G03C 5/08

Fターム (8件)：

2H016AC00 , 2H045AA01 , 2H045AA54 , 2H045BA22 , 2H045BA24 , 2H045BA32 , 2H045CA92 , 2H045CB41

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