特許

J-GLOBAL ID：200903051064190457

フッ素レーザ装置用基準光源。

発明者： 有本 智良 ,  北川 鉄也 ,  吉岡 正樹
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-345179
公開番号（公開出願番号）：特開2002-151013
出願日： 2000年11月13日
公開日（公表日）： 2002年05月24日
要約：

【要約】【課題】 波長157nmの光を放出するフッ素レーザ装置用の基準光源であって、ステッパーやスキャン露光等の投影露光装置の光源として実用的意味において使用できる基準光源を提供すること。【解決課題】 フッ素レーザ装置から発振される波長157nmのレーザ光線の波長安定化に使う基準光源であって、発光物質である臭素原子が放電容器の中に、0.005μmol/cc〜0.040μmol/cc封入されたことを特徴とする。さらに、前記放電容器には、発光物質として臭素原子のみが封入されたことを特徴とする。さらに、前記放電容器には、アルゴン(Ar)、キセノン(Xe)、クリプトン(Kr)から選ばれる少なくとも1種の希ガスが、0.3kPa〜3.5kPa(常温において)始動用バッファガスとして封入されたことを特徴とする。さらに、前記臭素原子が臭化水素(HBr)あるいは臭化アンモニウム(NH4Br)の形で封入されることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

フッ素レーザ装置から発光する波長157.6299nmのレーザ光線の波長安定化に使う基準光源であって、発光物質である臭素原子が放電容器の中に、0.005μmol/cc〜0.040μmol/cc封入されたことを特徴とするフッ素レーザ装置用基準光源。

IPC (5件)：

H01J 65/00 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/223

FI (5件)：

H01J 65/00 B ,  G03F 7/20 502 ,  H01S 3/00 G ,  H01L 21/30 515 B ,  H01S 3/223 Z

Fターム (13件)：

2H097CA13 ,  2H097LA10 ,  5F046BA03 ,  5F046CA03 ,  5F046CA08 ,  5F046DA01 ,  5F071AA04 ,  5F071JJ10 ,  5F072AA04 ,  5F072JJ20 ,  5F072KK15 ,  5F072KK30 ,  5F072YY09