特許
J-GLOBAL ID：200903051081946913
特性X線の角度分解スペクトラム測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-249774
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087749
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】【目的】本発明は、成膜された被膜等の被測定物からの特性X線の角度分解スペクトラムを簡単かつ短時間で測定することが可能な方法を提供しようとするものである。【構成】被測定物に高速粒子を照射することによって励起された特性X線をその全反射角近傍で検出する方法において、前記特性X線が入射される半導体検出器1の前面に可動スリット2を配置し、前記可動スリット2の駆動と同期して検出信号が入力される多チャンネル解析器71 、72 、73 ...7n に切替えることにより前記スリット位置による特性X線強度を測定することを特徴としている。
請求項（抜粋）：
被測定物に高速粒子を照射することによって励起された特性X線をその全反射角近傍で検出する方法において、前記特性X線が入射される半導体検出器の前面に可動スリットを配置し、前記可動スリットの駆動と同期して検出信号が入力される多チャンネル解析器に切替えることにより前記スリット位置による特性X線強度を測定することを特徴とする特性X線の角度分解スペクトラム測定方法。
引用特許：
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