特許
J-GLOBAL ID:200903051083433069

切削水供給ノズル機構

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 秋元 輝雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-204092
公開番号(公開出願番号):特開平9-029735
出願日: 1995年07月19日
公開日(公表日): 1997年02月04日
要約:
【要約】【課題】 切削装置等のブレードのセットアップ時に切削水供給ノズルから水が垂れないようにした、切削水供給ノズル機構を提供する。【解決手段】 切削装置等のブレードのセットアップ時に切削水供給ノズルから切削水が垂れないようにした切削水供給ノズル機構であって、前記切削水供給ノズルに連結した供給パイプの所要位置にドレンパイプに連通するドレン連通部が形成され、セットアップ時には切削水供給ノズルとドレン連通部間の切削水をドレンパイプより排出する。
請求項(抜粋):
切削装置等のブレードのセットアップ時に切削水供給ノズルから切削水が垂れないようにした切削水供給ノズル機構であって、前記切削水供給ノズルに連結した供給パイプの所要位置にドレンパイプに連通するドレン連通部が形成され、セットアップ時には切削水供給ノズルとドレン連通部間の切削水をドレンパイプより排出する切削水供給ノズル機構。
IPC (2件):
B28D 7/02 ,  H01L 21/301
FI (2件):
B28D 7/02 ,  H01L 21/78 F
引用特許:
審査官引用 (3件)

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