走査電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-171924
公開番号（公開出願番号）：特開2001-006588
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】画像データの記録,撮影の実行時に、試料位置,電子光学系の設定条件などの制御情報を記憶し、これを選択、呼出しできるようにすることで、以前に記録した視野と、観察条件を直ちに再現できるようにした走査電子顕微鏡。【解決手段】画像データの記録,撮影の実行時に再観察に必要な各制御系の状態を記憶し、再現できるようにする。再観察の際にユーザーの記憶に頼った調整をする必要がなく操作性が向上する。

請求項（抜粋）：

収束した電子線を試料に照射し二次元走査するための電子光学系と、該電子光学系を制御する制御系と、該試料から発生する二次電子を検出し映像信号に変換する二次電子検出器と、該映像信号を画像データとして記憶する画像記憶手段と、該画像記憶手段から呼び出された画像データを試料像として表示する表示手段と、該試料を該電子線と交差する二次元方向に移動可能な試料移動機構と、該試料移動機構を制御する試料移動制御系とで構成される走査電子顕微鏡において、前記各々の制御系の制御情報を記憶する情報記憶手段と、記憶した情報の呼出しを指令するための入力手段を備え、該画像記憶手段に画像データの記憶を行ったとき、該電子光学系の制御情報と該試料移動制御系の座標情報を、該情報記憶手段に記憶するとともに、該入力手段から該情報の呼出しの指令を受けた時、該情報記憶手段に記憶した制御情報をもとに前記各々の制御系の制御値のすべてまたは一部を、該画像データを記憶したときの値に設定する機能を有することを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/04 , H01J 37/22 502 , H01J 37/28

FI (3件)：

H01J 37/04 Z , H01J 37/22 502 Z , H01J 37/28 B

Fターム (7件)：

5C030BB07 , 5C030BC06 , 5C033FF00 , 5C033JJ03 , 5C033MM05 , 5C033UU05 , 5C033UU06

引用特許：

審査官引用 (5件)

顕微鏡像表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-052417 出願人：株式会社ニコン
走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-246133 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
特開昭59-201352

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